1. Odstraňovanie častíc prachu v čistej miestnosti bez prachu
Hlavnou funkciou čistej miestnosti je regulácia čistoty, teploty a vlhkosti atmosféry, ktoré sú vystavené výrobkom (ako sú kremíkové čipy atď.), Aby sa výrobky mohli vyrábať a vyrábať v dobrom priestore prostredia. Tento priestor nazývame čistá miestnosť. Podľa medzinárodnej praxe je úroveň čistoty určená hlavne počtom častíc na kubický meter vzduchu s priemerom väčším ako klasifikačný štandard. Inými slovami, takzvaný bezprášny nie je 100% bez prachu, ale je ovládaný vo veľmi malej jednotke. Častice, ktoré spĺňajú štandard prachu v tomto štandarde, sú, samozrejme, už veľmi malé v porovnaní so spoločným prachom, ktorý vidíme, ale v prípade optických štruktúr bude mať aj malý prach veľmi veľký negatívny vplyv, takže bez prachu je nevyhnutná požiadavka Vo výrobe výrobkov optickej štruktúry.
Ovládanie počtu prachových častíc s veľkosťou častíc väčší alebo rovnajúci sa 0,5 mikrónov na meter kubický až menej ako 3520/kubický meter dosiahne triedu A medzinárodného štandardu bez prachu. Norma bez prachu použitá pri výrobe a spracovaní na úrovni čipov má vyššie požiadavky na prach ako trieda A a taký vysoký štandard sa používa hlavne pri výrobe niektorých čipov vyššej úrovne. Počet častíc prachu sa prísne kontroluje pri 35 200 na meter kubický, ktorý sa bežne nazýva trieda B v priemysle čistých miestností.
2. Tri druhy štátov čistých miestností
Prázdna čistá miestnosť: Čistá miestnosť, ktorá bola postavená a dá sa použiť do používania. Má všetky relevantné služby a funkcie. V zariadení však prevádzkovatelia prevádzkujú žiadne vybavenie.
Static Clean Room: Čistá miestnosť s kompletnými funkciami, správnymi nastaveniami a inštaláciou, ktoré je možné použiť podľa nastavení alebo sa používa, ale v zariadení nie sú prevádzkovatelia.
Dynamic Clean Room: Čistá miestnosť v normálnom používaní, s kompletnými servisnými funkciami, vybavením a personálom; Ak je to potrebné, je možné vykonať normálnu prácu.
3. Ovládanie položiek
(1). Môže vo vzduchu odstrániť prachové častice plávajúce.
(2). Môže zabrániť tvorbe prachových častíc.
(3). Riadenie teploty a vlhkosti.
(4). Regulácia tlaku.
(5). Eliminácia škodlivých plynov.
(6). Vzduchová tesnosť štruktúr a priehradiek.
(7). Prevencia statickej elektriny.
(8). Prevencia elektromagnetického rušenia.
(9). Zváženie bezpečnostných faktorov.
(10). Zohľadnenie úspory energie.
4. Klasifikácia
Turbulentný typ toku
Vzduch vstupuje do čistej miestnosti z klimatizačnej skrinky cez vzduchový kanál a vzduchový filter (HEPA) v čistej miestnosti a vracia sa z priečneho steny alebo vyvýšených podlah na oboch stranách čistej miestnosti. Posúvanie vzduchu sa nepohybuje lineárnym spôsobom, ale predstavuje nepravidelný turbulentný alebo vírivý stav. Tento typ je vhodný pre čistú miestnosť triedy 1 000-100 000.
Definícia: Čistá miestnosť, v ktorej prúdenie vzduchu tečie nerovnomernou rýchlosťou a nie je rovnobežné, sprevádzané spätným tokom alebo vírivým prúdom.
Princíp: Turbulentné čisté miestnosti sa spoliehajú na prietok vzduchu vzduchu, aby sa nepretržite riedil vnútorný vzduch a postupne riedil znečistený vzduch, aby sa dosiahla čistota (turbulentné čisté miestnosti sú všeobecne navrhnuté v úrovniach čistoty nad 1 000 až 300 000).
Vlastnosti: Turbulentné čisté miestnosti sa spoliehajú na viacnásobné vetranie, aby sa dosiahla úroveň čistoty a čistoty. Počet zmien ventilácie určuje úroveň čistenia v definícii (čím viac sa mení ventilácia, tým vyššia je úroveň čistoty)
(1) Čas samočinného času: Vzťahuje sa na čas, keď čistá miestnosť začína dodávať vzduch do čistej miestnosti podľa navrhnutého čísla vetrania a koncentrácia prachu v miestnosti dosiahne navrhnutú úroveň čistoty 1 000. ako 20 minút (na výpočet sa môže použiť 15 minút) Očakáva sa, že trieda 10 000 bude viac ako 30 minút (na výpočet sa môže použiť na výpočet). výpočet
(2) Ventilačná frekvencia (navrhnutá podľa vyššie uvedených požiadaviek na čas na samoliečenie) Trieda 1 000: 43,5-55,3 krát za hodinu (štandard: 50-krát/hodina) Trieda 10 000: 23,8-28,6-krát za hodinu (štandard: 25-krát/hodinu ) Trieda 100 000: 14,4-19,2 krát za hodinu (štandard: 15 krát za hodinu)
Výhody: Jednoduchá štruktúra, nízke náklady na výstavbu systému, ľahko rozšírili čistú miestnosť, na niektorých miestach špeciálnych účelov je možné čistú lavicu bez prachu použiť na zlepšenie triedy čistých miestností.
Nevýhody: Častice prachu spôsobené turbulenciou vznášajú sa vo vnútornom priestore a je ťažké ich vypustiť, čo môže ľahko kontaminovať procesné výrobky. Okrem toho, ak je systém zastavený a potom aktivovaný, dosiahnutie požadovanej čistoty často trvá dlho.
Laminárny prietok
Laminárny prúd sa pohybuje v rovnomernej priamke. Vzduch vstupuje do miestnosti cez filter so 100% rýchlosťou pokrytia a vracia sa cez vyvýšenú podlahu alebo rozdeľovacie dosky na oboch stranách. Tento typ je vhodný na použitie v prostredí čistých miestností s vyššími stupňami čistých miestností, zvyčajne triedy 1 ~ 100. Existujú dva typy:
(1) Horizontálny laminárny prietok: Horizontálny vzduch sa vyfúkne z filtra v jednom smere a vracia sa systémom spiatočného vzduchu na opačnej stene. Prach sa vypúšťa vonku s smerom vzduchu. Znečistenie je vo všeobecnosti vážnejšie na strane po prúde.
Výhody: Jednoduchá štruktúra, môže byť stabilná v krátkom čase po prevádzke.
Nevýhody: Náklady na výstavbu sú vyššie ako turbulentný tok a vnútorný priestor nie je ľahké rozšíriť.
(2) Vertikálny laminárny prietok: Strop miestnosti je úplne pokrytý filtrami ULPA a vzduch sa vyfúkne zhora nadol, čo môže dosiahnuť vyššiu čistotu. Prach generovaný počas procesu alebo personálu môže byť rýchlo prepustený vonku bez ovplyvnenia iných pracovných oblastí.
Výhody: Jednoduché riadenie stabilného stavu je možné dosiahnuť v krátkom čase po začatí operácie a nie je ľahko ovplyvnený prevádzkovým štátom alebo operátormi.
Nevýhody: Vysoké náklady na výstavbu, ťažko flexibilne využívajú priestor, stropné vešiaky zaberajú veľa miesta a problematické opravy a výmenu filtrov.
Kompozitný typ
Kompozitným typom je kombinovať alebo používať turbulentný typ prietoku a typ laminárneho prietoku, ktorý môže poskytnúť miestny ultra čistý vzduch.
(1) Čistý tunel: Použite filtre HEPA alebo ULPA na pokrytie 100% procesnej oblasti alebo pracovnej oblasti, aby ste zvýšili úroveň čistoty na vyššiu triedu 10, čo môže ušetriť náklady na inštaláciu a prevádzku.
Tento typ vyžaduje, aby bol pracovný priestor operátora izolovaný od údržby produktu a stroja, aby sa zabránilo ovplyvňovaniu práce a kvality počas údržby stroja.
Čisté tunely majú ďalšie dve výhody: A. Ľahko sa rozširujú flexibilne; B. Údržba zariadenia sa dá ľahko vykonať v oblasti údržby.
(2) Čistá trubica: Obklopte a čistiť automatickú výrobnú linku, cez ktorú prechádza prietok produktu, a zvýšiť úroveň čistoty na nadol triedy 100. Pretože prostredie generujúce produkt, operátor a prach sú navzájom izolované, malé množstvo Prívod vzduchu môže dosiahnuť dobrú čistotu, ktorá môže ušetriť energiu a je najvhodnejšia pre automatizované výrobné linky, ktoré nevyžadujú manuálnu prácu. Použije sa na farmaceutický, potravinový a polovodičový priemysel.
(3) Čisté miesto: Úroveň čistoty v oblasti procesu produktu v turbulentnej čistej miestnosti s čistú úroveň miestnosti 10 000 ~ 100 000 sa zvýši na 10 ~ 1 000 alebo viac na výrobné účely; Do tejto kategórie patria čisté pracovné stoly, čisté prístrešky, prefabrikované čisté miestnosti a čisté šatníky.
Čistá lavica: trieda 1 ~ 100.
Čistý stánok: Malý priestor obklopený anti-statickou priehľadnou plastovou handričkou v turbulentnom priestore pre čisté miestnosti, ktorý používa nezávislú HEPA alebo ULPA a klimatizačné jednotky, aby sa stal čistým priestorom na vyššej úrovni, s úrovňou 10 ~ 1 000, výška približne 2,5 metra a plocha pokrytia asi 10 m2 alebo menej. Má štyri stĺpy a je vybavený pohyblivými kolesami na flexibilné použitie.
5. Tok prúdenia vzduchu
Dôležitosť prúdenia vzduchu
Čistota čistej miestnosti je často ovplyvnená prúdom vzduchu. Inými slovami, pohyb a difúzia prachu generovaného ľuďmi, strojovými priestormi, stavebnými štruktúrami atď. Sú riadené prúdom vzduchu.
Čistá miestnosť používa na filtrovanie vzduchu HEPA a ULPA a jeho rýchlosť zberu prachu je až 99,97 ~ 99,99995%, takže vzduch filtrovaný týmto filtrom sa dá povedať, že je veľmi čistý. Okrem ľudí však existujú aj prachové zdroje, ako sú stroje v čistej miestnosti. Akonáhle sa tieto generované prachy rozšírili, nie je možné udržať čistý priestor, takže na rýchle vypustenie prachu vonku sa musí použiť prúd vzduchu.
Ovplyvňujúce faktory
Existuje veľa faktorov, ktoré ovplyvňujú prúdenie vzduchu v čistej miestnosti, ako sú procesné vybavenie, personál, montážne materiály v miestnosti, svietidlá atď. Zároveň by sa mal tiež dostať do priestupku prúdu vzduchu nad výrobným zariadením úvaha.
Bod odchýlky prúdenia vzduchu na povrchu všeobecného operačného stola alebo výrobného zariadenia by mal byť nastavený na 2/3 vzdialenosti medzi priestorom čistého miestnosti a rozdeľovacou doskou. Týmto spôsobom, keď prevádzkovateľ funguje, môže prúdenie vzduchu prúdiť zvnútra procesnej oblasti do prevádzkovej oblasti a odobrať prach; Ak je bod odklonu nakonfigurovaný pred procesnou oblasťou, stane sa nesprávnym odklonom prúdenia vzduchu. V súčasnosti bude väčšina prúdenia vzduchu prúdiť do zadnej časti procesnej oblasti a prach spôsobený prevádzkou prevádzkovača sa prenesie na zadnú stranu zariadenia a pracovný stôl bude kontaminovaný a výnos sa nevyhnutne zníži.
Prekážky, ako sú pracovné stoly v čistých miestnostiach, budú mať na križovatke vírivé prúdy a čistota v ich blízkosti bude relatívne nízka. Vŕtanie spiatočného vzduchového dieru na pracovnej tabuľke minimalizuje jav vírivého prúdu; Či je výber montážnych materiálov vhodný a či je usporiadanie zariadenia dokonalé, je tiež dôležitými faktormi, či sa prúd vzduchu stáva javom vírivého prúdu.
6. Zloženie čistej miestnosti
Zloženie čistej miestnosti sa skladá z nasledujúcich systémov (z ktorých žiadna nie je nevyhnutná v molekulách systému), inak nebude možné vytvoriť úplnú a kvalitnú čistú miestnosť:
(1) Stropný systém: vrátane stropnej tyče, lúča I alebo lúča U, stropnej siete alebo stropným rámom.
(2) klimatizačný systém: vrátane vzduchovej kabíny, filtračného systému, veterného mlyna atď.
(3) Oddelená stena: vrátane okien a dverí.
(4) Podlaha: vrátane vyvýšenej podlahy alebo anti-statickej podlahy.
(5) Svetelné svietidlá: Plochá lampa LED čistenia.
Hlavná konštrukcia čistej miestnosti je zvyčajne vyrobená z oceľových tyčí alebo kostného cementu, ale bez ohľadu na to, o akú štruktúru je, musí spĺňať nasledujúce podmienky:
A. V dôsledku zmien teploty a vibrácií sa nevyskytujú žiadne praskliny;
B. Nie je ľahké produkovať častice prachu a pre častice je ťažké pripojiť sa;
C. nízka hygroskopicita;
D. Aby sa udržala podmienky vlhkosti v čistej miestnosti, musí byť tepelná izolácia vysoká;
7. Klasifikácia pomocou použitia
Priemyselná čistá miestnosť
Kontrola neživých častíc je objektom. Riadi hlavne znečistenie častíc prachu vzduchu na pracovný objekt a vnútro sa vo všeobecnosti zachováva stav pozitívneho tlaku. Je vhodný pre priemysel presných strojov, elektronický priemysel (polovodiče, integrované obvody atď.), Letecký priemysel, vysoko čistotný chemický priemysel, priemysel atómovej energie, optický a magnetický výrobok (CD, film, produkcia pásky) LCD (Liquid Crystal) sklo), počítačový pevný disk, výroba hlavy počítača a ďalšie priemyselné odvetvia.
Biologická čistá miestnosť
Hlavne riadi znečistenie živých častíc (baktérií) a neživých častíc (prach) k pracovnému objektu. Môže sa rozdeliť na;
A. Všeobecná biologická čistá miestnosť: Hlavne riadi znečistenie mikrobiálnych (bakteriálnych) predmetov. Zároveň musia byť jeho vnútorné materiály schopné vydržať eróziu rôznych sterilizačných činidiel a interiér všeobecne zaručuje pozitívny tlak. Vnútorné materiály musia byť v zásade schopné vydržať rôzne sterilizačné ošetrenia priemyselnej čistej miestnosti. Príklady: Farmaceutický priemysel, nemocnice (operačné sály, sterilné oddelenia), potraviny, kozmetika, výroba nápojov, laboratóriá zvierat, fyzikálne a chemické testovacie laboratóriá, krvné stanice atď.
B. Biologická bezpečnosť Čistá miestnosť: Predovšetkým riadi znečistenie živých častíc pracovného objektu voči vonkajšiemu svetu a ľuďom. Vnútorný tlak sa musí udržiavať negatívne s atmosférou. Príklady: bakteriológia, biológia, čisté laboratóriá, fyzické inžinierstvo (rekombinantné gény, príprava vakcín)
Čas príspevku: február-07-2025