Čistá miestnosť je špeciálna uzavretá budova postavená na kontrolu častíc vo vzduchu vo vesmíre. Vo všeobecnosti bude čistá miestnosť kontrolovať aj faktory prostredia, ako je teplota a vlhkosť, pohyb vzduchu a vibrácie a hluk. Z čoho teda pozostáva čistá miestnosť? Pomôžeme vám roztriediť päť častí:
1. Priehradka
Priestor čistých priestorov je rozdelený na tri časti, šatňu, čistý priestor triedy 1000 a čistý priestor triedy 100. Šatňa a čistý priestor triedy 1000 sú vybavené vzduchovými sprchami. Čistá miestnosť a vonkajší priestor sú vybavené vzduchovou sprchou. Pass box sa používa na vstupy a výstupy z čistej miestnosti. Keď ľudia vstupujú do čistej miestnosti, musia najprv prejsť vzduchovou sprchou, aby sa vyfúkol prach prenášaný ľudským telom a znížil sa prach, ktorý do čistej miestnosti vnáša personál. Pass box vyfukuje prach z predmetov, aby sa dosiahol efekt odstránenia prachu.
2. Vývojový diagram vzduchového systému
Systém využíva novú klimatizáciu + FFU systém:
(1). Štruktúra čerstvého klimatizačného boxu
(2). Filtračná jednotka ventilátora FFU
Filter v triede čistých priestorov 1000 využíva HEPA s účinnosťou filtrácie 99,997 % a filter v triede čistých priestorov 100 využíva ULPA s účinnosťou filtrácie 99,9995 %.
3. Vývojový diagram vodného systému
Vodný systém je rozdelený na primárnu stranu a sekundárnu stranu.
Teplota vody na primárnej strane je 7-12 ℃, ktorá je privádzaná do klimatizačného boxu a fancoilovej jednotky, a teplota vody na sekundárnej strane je 12-17 ℃, ktorá je privádzaná do suchého špirálového systému. Voda na primárnej strane a sekundárnej strane sú dva rôzne okruhy, prepojené doskovým výmenníkom tepla.
Princíp doskového výmenníka tepla
Suchá cievka: Nekondenzujúca cievka. Pretože teplota v čistiacej dielni je 22 ℃ a jej teplota rosného bodu je približne 12 ℃, voda 7 ℃ nemôže priamo vstúpiť do čistej miestnosti. Preto je teplota vody vstupujúcej do suchého hada medzi 12-14 ℃.
4. Teplota riadiaceho systému (DDC): riadenie systému suchej cievky
Vlhkosť: Klimatizácia reguluje objem prívodu vody do špirály klimatizácie ovládaním otvorenia trojcestného ventilu prostredníctvom snímaného signálu.
Kladný tlak: Nastavenie klimatizácie podľa signálu snímania statického tlaku automaticky nastavuje frekvenciu meniča motora klimatizácie, čím upravuje množstvo čerstvého vzduchu vstupujúceho do čistej miestnosti.
5. Iné systémy
Nielen klimatizačný systém, systém čistých priestorov zahŕňa aj vákuum, tlak vzduchu, dusík, čistú vodu, odpadovú vodu, systém oxidu uhličitého, procesný výfukový systém a testovacie normy:
(1). Testovanie rýchlosti prúdenia vzduchu a rovnomernosti. Toto testovanie je predpokladom ďalšieho testovacieho účinku čistej miestnosti. Účelom tohto testovania je objasniť priemerný prietok vzduchu a rovnomernosť jednosmerného prúdenia pracovnej plochy v čistej miestnosti.
(2). Detekcia objemu vzduchu v systéme alebo miestnosti.
(3). Detekcia vnútornej čistoty. Detekcia čistoty má určiť úroveň čistoty vzduchu, ktorú možno dosiahnuť v čistej miestnosti, a na jej detekciu možno použiť počítadlo častíc.
(4). Detekcia času samočistenia. Stanovením času samočistenia možno zistiť schopnosť obnoviť pôvodnú čistotu čistej miestnosti, keď dôjde ku kontaminácii vo vnútri čistej miestnosti.
(5). Detekcia vzoru prúdenia vzduchu.
(6). Detekcia hluku.
(7). Detekcia osvetlenia. Účelom testovania osvetlenia je určiť úroveň osvetlenia a rovnomernosť osvetlenia čistej miestnosti.
(8). Detekcia vibrácií. Účelom detekcie vibrácií je určiť amplitúdu vibrácií každého displeja v čistej miestnosti.
(9). Detekcia teploty a vlhkosti. Účelom detekcie teploty a vlhkosti je schopnosť upraviť teplotu a vlhkosť v rámci určitých limitov. Jeho obsahom je zisťovanie teploty privádzaného vzduchu v čistej miestnosti, zisťovanie teploty vzduchu v reprezentatívnych meracích bodoch, zisťovanie teploty vzduchu v strede čistej miestnosti, zisťovanie teploty vzduchu na citlivých komponentoch, zisťovanie relatívnej teploty vnútorného vzduchu a zisťovanie teplotu spätného vzduchu.
(10). Detekcia celkového objemu vzduchu a objemu čerstvého vzduchu.
Čas odoslania: 24. januára 2024