Ochrane životného prostredia sa venuje čoraz väčšia pozornosť, najmä s pribúdajúcim hmlovým počasím. Technika čistých priestorov je jedným z opatrení na ochranu životného prostredia. Ako používať inžinierstvo čistých priestorov na dobrú prácu v ochrane životného prostredia? Hovorme o ovládaní v technike čistých priestorov.
Regulácia teploty a vlhkosti v čistej miestnosti
Teplota a vlhkosť čistých priestorov sa určuje hlavne na základe procesných požiadaviek, ale pri plnení procesných požiadaviek by sa mal brať do úvahy ľudský komfort. So zlepšovaním požiadaviek na čistotu vzduchu nastáva trend prísnejších požiadaviek na teplotu a vlhkosť v procese.
Všeobecne platí, že v dôsledku zvyšujúcej sa presnosti spracovania sú požiadavky na rozsah kolísania teplôt čoraz menšie. Napríklad v litografickom a expozičnom procese výroby integrovaných obvodov vo veľkom meradle sa rozdiel v koeficiente tepelnej rozťažnosti medzi sklenenými a kremíkovými plátkami používanými ako materiály masky stále zmenšuje.
Kremíkový plátok s priemerom 100 μm spôsobuje lineárnu expanziu 0,24 μm pri zvýšení teploty o 1 stupeň. Preto je potrebná konštantná teplota ± 0,1 ℃ a hodnota vlhkosti je vo všeobecnosti nízka, pretože po potení bude výrobok kontaminovaný, najmä v polovodičových dielňach, ktoré sa obávajú sodíka. Tento typ dielne by nemal prekročiť 25 ℃.
Viac problémov spôsobuje nadmerná vlhkosť. Keď relatívna vlhkosť prekročí 55 %, na stene potrubia chladiacej vody sa vytvorí kondenzát. Ak sa vyskytne v presných zariadeniach alebo obvodoch, môže spôsobiť rôzne nehody. Keď je relatívna vlhkosť 50%, ľahko zhrdzavie. Okrem toho, keď je vlhkosť príliš vysoká, prach priľnutý na povrchu kremíkového plátku bude chemicky adsorbovaný na povrchu prostredníctvom molekúl vody vo vzduchu, čo je ťažké odstrániť.
Čím vyššia je relatívna vlhkosť, tým ťažšie je odstrániť priľnavosť. Keď je však relatívna vlhkosť nižšia ako 30 %, častice sa tiež ľahko adsorbujú na povrch v dôsledku pôsobenia elektrostatickej sily a veľké množstvo polovodičových prvkov je náchylných na poruchu. Optimálny teplotný rozsah na výrobu kremíkových doštičiek je 35-45%.
Tlak vzduchuovládaniev čistej miestnosti
Pre väčšinu čistých priestorov, aby sa zabránilo prenikaniu vonkajšieho znečistenia, je potrebné udržiavať vnútorný tlak (statický tlak) vyšší ako vonkajší tlak (statický tlak). Udržiavanie tlakového rozdielu by malo vo všeobecnosti spĺňať nasledujúce zásady:
1. Tlak v čistých priestoroch by mal byť vyšší ako v nečistých priestoroch.
2. Tlak v priestoroch s vysokou úrovňou čistoty by mal byť vyšší ako v priľahlých priestoroch s nízkou úrovňou čistoty.
3. Dvere medzi čistými miestnosťami by mali byť otvorené smerom k miestnostiam s vysokou úrovňou čistoty.
Udržanie tlakového rozdielu závisí od množstva čerstvého vzduchu, ktorý by mal byť schopný kompenzovať únik vzduchu z medzery pod týmto tlakovým rozdielom. Takže fyzikálny význam tlakového rozdielu je odpor úniku (alebo infiltrácie) prúdenia vzduchu cez rôzne medzery v čistej miestnosti.
Čas odoslania: 21. júla 2023