Ochrane životného prostredia sa venuje čoraz väčšia pozornosť, najmä s pribúdajúcim obdobím hmly. Technika čistých priestorov je jedným z opatrení na ochranu životného prostredia. Ako využiť techniku čistých priestorov na dosiahnutie dobrých výsledkov v oblasti ochrany životného prostredia? Poďme sa porozprávať o riadení v technike čistých priestorov.
Regulácia teploty a vlhkosti v čistej miestnosti
Teplota a vlhkosť čistých priestorov sa určujú najmä na základe procesných požiadaviek, ale pri plnení procesných požiadaviek by sa mal brať do úvahy ľudský komfort. So zvyšovaním požiadaviek na čistotu vzduchu existuje trend prísnejších požiadaviek na teplotu a vlhkosť v procese.
Vo všeobecnosti platí, že v dôsledku rastúcej presnosti spracovania sa požiadavky na rozsah teplotných výkyvov zmenšujú. Napríklad pri litografii a osvitovom procese pri výrobe integrovaných obvodov vo veľkom meradle sa rozdiel v koeficiente tepelnej rozťažnosti medzi sklenenými a kremíkovými doštičkami používanými ako materiál masky stáva čoraz menším.
Kremíkový plátok s priemerom 100 μm spôsobuje lineárnu rozťažnosť 0,24 μm pri zvýšení teploty o 1 stupeň. Preto je potrebná konštantná teplota ± 0,1 ℃ a hodnota vlhkosti je vo všeobecnosti nízka, pretože po potení sa výrobok kontaminuje, najmä v dielňach na polovodiče, ktoré sa obávajú sodíka. Tento typ dielne by nemal prekročiť 25 ℃.
Nadmerná vlhkosť spôsobuje ďalšie problémy. Keď relatívna vlhkosť prekročí 55 %, na stene potrubia chladiacej vody sa tvorí kondenzácia. Ak sa vyskytuje v presných zariadeniach alebo obvodoch, môže spôsobiť rôzne nehody. Pri relatívnej vlhkosti 50 % ľahko hrdzavie. Okrem toho, keď je vlhkosť príliš vysoká, prach priľnutý na povrchu kremíkového plátku sa chemicky adsorbuje na povrch prostredníctvom molekúl vody vo vzduchu, čo je ťažké odstrániť.
Čím vyššia je relatívna vlhkosť, tým ťažšie je odstrániť priľnavosť. Ak je však relatívna vlhkosť nižšia ako 30 %, častice sa v dôsledku pôsobenia elektrostatickej sily ľahko adsorbujú na povrchu a veľké množstvo polovodičových zariadení je náchylných na poruchu. Optimálny teplotný rozsah pre výrobu kremíkových doštičiek je 35 – 45 %.
Tlak vzduchukontrolav čistej miestnosti
Vo väčšine čistých priestorov je potrebné udržiavať vnútorný tlak (statický tlak) vyšší ako vonkajší tlak (statický tlak) pre zabránenie vniknutia vonkajšieho znečistenia. Udržiavanie tlakového rozdielu by malo vo všeobecnosti spĺňať nasledujúce zásady:
1. Tlak v čistých priestoroch by mal byť vyšší ako v nečistých priestoroch.
2. Tlak v priestoroch s vysokou úrovňou čistoty by mal byť vyšší ako v susedných priestoroch s nízkou úrovňou čistoty.
3. Dvere medzi čistými miestnosťami by sa mali otvárať smerom k miestnostiam s vysokou úrovňou čistoty.
Udržiavanie tlakového rozdielu závisí od množstva čerstvého vzduchu, ktorý by mal byť schopný kompenzovať únik vzduchu z medzery pri tomto tlakovom rozdiele. Fyzikálny význam tlakového rozdielu je teda odpor proti úniku (alebo infiltrácii) prúdenia vzduchu cez rôzne medzery v čistej miestnosti.
Čas uverejnenia: 21. júla 2023