Ochrana životného prostredia sa venuje čoraz väčšia pozornosť, najmä pri zvyšovaní hmlého počasia. Čisté miestne inžinierstvo je jedným z opatrení na ochranu životného prostredia. Ako používať inžinierstvo čistých miestností na vykonanie dobrého zamestnania v oblasti ochrany životného prostredia? Hovorme o ovládaní v inžinierstve čistých miestností.
Ovládanie teploty a vlhkosti v čistej miestnosti
Teplota a vlhkosť čistých priestorov sa určujú hlavne na základe požiadaviek na proces, ale pri splnení požiadaviek na proces sa malo zohľadniť ľudské pohodlie. So zlepšením požiadaviek na čistotu vzduchu existuje trend prísnejších požiadaviek na teplotu a vlhkosť v procese.
Ako všeobecný princíp, v dôsledku zvyšujúcej sa presnosti spracovania sa požiadavky na rozsah kolísania teploty zmenšujú a sú menšie. Napríklad v procese litografie a expozície vo veľkom meradle integrovanej výroby obvodov je rozdiel v koeficiente tepelnej expanzie medzi sklenenými a kremíkovými doštičkami používanými ako maskové materiály čoraz malý.
Kremíková doštička s priemerom 100 μm spôsobuje lineárnu expanziu 0,24 μm, keď teplota stúpa o 1 stupeň. Preto je potrebná konštantná teplota ± 0,1 ℃ a hodnota vlhkosti je vo všeobecnosti nízka, pretože po potí sa produkt kontaminuje, najmä v polovodičových dielňach, ktoré sa obávajú sodíka. Tento typ workshopu by nemal prekročiť 25 ℃.
Nadmerná vlhkosť spôsobuje viac problémov. Ak relatívna vlhkosť prekročí 55%, kondenzácia sa bude tvoriť na stene potrubia chladiacej vody. Ak sa vyskytne v presných zariadeniach alebo obvodoch, môže spôsobiť rôzne nehody. Ak je relatívna vlhkosť 50%, je ľahké hrdzaviť. Okrem toho, keď je vlhkosť príliš vysoká, prach priľnutá na povrch kremíkovej doštičky bude chemicky adsorbovaný na povrchu cez molekuly vody vo vzduchu, čo je ťažké odstrániť.
Čím vyššia je relatívna vlhkosť, tým ťažšie je odstránenie adhézie. Ak je však relatívna vlhkosť pod 30%, častice sú tiež ľahko adsorbované na povrchu v dôsledku pôsobenia elektrostatickej sily a veľké množstvo polovodičových zariadení je náchylné na zlyhanie. Optimálny teplotný rozsah pre výrobu kremíkových doštičiek je 35-45%.
Vzdušný tlakovládaniev čistej miestnosti
V prípade väčšiny čistých priestorov, aby sa zabránilo napadnutiu vonkajšieho znečistenia, je potrebné udržiavať vnútorný tlak (statický tlak) vyšší ako vonkajší tlak (statický tlak). Rozdiel v udržiavaní tlaku by mal vo všeobecnosti vyhovovať nasledujúcim zásadám:
1. Tlak v čistých priestoroch by mal byť vyšší ako v neplatných priestoroch.
2. Tlak v priestoroch s vysokou úrovňou čistoty by mal byť vyšší ako v susedných priestoroch s nízkou úrovňou čistoty.
3. Dvere medzi čistými miestnosťami by sa mali otvoriť smerom k miestnostiam s vysokou úrovňou čistoty.
Rozdiel na udržiavaní tlaku závisí od množstva čerstvého vzduchu, ktorý by mal byť schopný kompenzovať únik vzduchu z medzery pod týmto rozdielom tlaku. Fyzickým významom rozdielu tlaku je teda odpor úniku (alebo infiltrácie) prietoku vzduchu cez rôzne medzery v čistej miestnosti.
Čas príspevku: júl-21-2023