Výťažok triesky vo výrobnom priemysle čipov úzko súvisí s veľkosťou a počtom častíc vzduchu uložených na ChIP. Dobrá organizácia prietoku vzduchu môže brať častice generované zo zdrojov prachu mimo čistého miestnosti a zabezpečiť čistotu čistoty. To znamená, že organizácia prietoku vzduchu v čistej miestnosti zohráva dôležitú úlohu vo výnose výroby čipov. Ciele, ktoré sa majú dosiahnuť pri návrhu organizácie prietoku vzduchu v čistej miestnosti, sú: zníženie alebo odstránenie vírivých prúdov v prietokovom poli, aby sa predišlo zadržiavaniu škodlivých častíc; na udržanie vhodného gradientu pozitívneho tlaku na zabránenie krížovej kontaminácie.
Podľa zásady čistej miestnosti sily pôsobiace na častice patrí hmotnostná sila, molekulárna sila, príťažlivosť medzi časticami, prúdenie vzduchu atď.
Vzduchová sila: Vzťahuje sa na silu prúdenia vzduchu spôsobeného prúdom a návratom prúdu vzduchu, tepelným prúdom prúdenia, umelým miešaním a inými vzduchovými tokmi s určitým prietokom na prepravu častíc. Pre kontrolu environmentálnej technológie čistej miestnosti je najdôležitejším faktorom prúdenie prúdenia vzduchu.
Pokusy ukázali, že pri pohybe prúdu vzduchu sa častice sledujú prietokom vzduchu takmer presne rovnakou rýchlosťou. Stav častíc vo vzduchu je určený distribúciou prúdenia vzduchu. Medzi hlavné účinky prúdenia vzduchu na vnútorné častice patrí: prúdenie vzduchu (vrátane primárneho prúdenia vzduchu a sekundárne prúdenie vzduchu), prúdenie vzduchu a tepelný prúdenie vzduchu spôsobeným chôdzou ľudí a vplyv prúdenia vzduchu na častice spôsobené procesnými operáciami a priemyselnými zariadeniami. Rôzne metódy prívodu vzduchu, rýchlostné rozhrania, operátory a priemyselné vybavenie, indukované javy atď. V čistenie sú všetky faktory, ktoré ovplyvňujú úroveň čistoty.
1. Vplyv metódy prívodu vzduchu
(1) Rýchlosť prívodu vzduchu
Aby sa zabezpečil rovnomerný prietok vzduchu, musí byť rýchlosť prívodu vzduchu v čistej miestnosti jednosmerného prietoku rovnomerná; mŕtva zóna na povrchu prívodu vzduchu musí byť malá; a pokles tlaku vo filtri HEPA musí byť tiež rovnomerný.
Rýchlosť prívodu vzduchu je rovnomerná: to znamená, že nerovnomernosť prietoku vzduchu je regulovaná v rámci ± 20%.
Na povrchu prívodu vzduchu je menej mŕtveho priestoru: nielenže by sa mala znížiť plocha roviny rámca HEPA, ale čo je dôležitejšie, na zjednodušenie redundantného rámca by sa mal použiť modulárny FFU.
Aby sa zabezpečilo, že prietok vzduchu je vertikálny a jednosmerný, je tiež veľmi dôležitý výber tlaku filtra a je potrebné, aby strata tlaku vo filtri nemohla zaujať.
(2) Porovnanie medzi systémom FFU a systémom ventilátora axiálneho toku
FFU je jednotka na prívod vzduchu s ventilátorom a filtrom HEPA. Vzduch je nasávaný odstredivým ventilátorom FFU a premieňa dynamický tlak na statický tlak vo vzduchovom kanáli. HEPA filter je rovnomerne vyhodený. Tlak prívodu vzduchu na strop je záporný tlak. Týmto spôsobom žiadny prach pri výmene filtra netesne do čistej miestnosti. Experimenty ukázali, že systém FFU je lepší ako systém ventilátora axiálneho toku, pokiaľ ide o uniformitu výstupu vzduchu, paralelizmu prietoku vzduchu a indexu účinnosti ventilácie. Je to preto, že paralelizmus prúdenia vzduchu systému FFU je lepší. Použitie systému FFU môže zlepšiť organizáciu toku vzduchu v čistej miestnosti.
(3) Vplyv vlastnej štruktúry FFU
FFU sa skladá hlavne z ventilátorov, filtrov, vodiacich prúdov vzduchu a ďalších komponentov. Filter HEPA je najdôležitejšou zárukou pre čistú miestnosť na dosiahnutie požadovanej čistoty požadovanej podľa návrhu. Materiál filtra ovplyvní aj rovnomernosť prietokového poľa. Ak sa do výstupu filtra pridá drsný filtračný materiál alebo prietoková doska, poľa prietoku výstupu sa dá ľahko urobiť rovnomerne.
2. Vplyv rýchlostného rozhrania s rôznou čistotou
V tej istej čistej miestnosti, medzi pracovnou oblasťou a nepracovou oblasťou s vertikálnym jednosmerným tokom, kvôli rozdielu v rýchlosti vzduchu v skrinke HEPA sa na rozhraní vyskytne zmiešaný vírivý efekt a toto rozhranie sa stane turbulentným Zóna prúdenia vzduchu. Intenzita turbulencie vzduchu je obzvlášť silná a častice sa môžu prenášať na povrch stroja zariadenia a kontaminovať zariadenie a doštičky.
3. Vplyv na personál a vybavenie
Ak je čistá miestnosť prázdna, charakteristiky prúdenia vzduchu v miestnosti všeobecne spĺňajú požiadavky na konštrukciu. Akonáhle zariadenie vstúpi do čistej miestnosti, ľudia sa pohybujú a výrobky sa prepravujú, nevyhnutne prekážajú prekážky do organizácie prietoku vzduchu, ako napríklad ostré body vyčnievajúce zo zariadenia. V rohoch alebo okrajoch bude plyn odklonený za vzniku turbulentnej oblasti prietoku a tekutina v oblasti nebude ľahko unesená prichádzajúcim plynom, čím spôsobí znečistenie.
Zároveň bude povrch mechanického zariadenia zahrievaný v dôsledku nepretržitej prevádzky a teplotný gradient spôsobí plochu v blízkosti stroja, ktorá zvyšuje akumuláciu častíc v oblasti reflow. Súčasne vysoká teplota ľahko spôsobí únik častíc. Dvojitý efekt zosilňuje celkovú vertikálnu vrstvu. Obtiažnosť ovládania čistoty prúdu. Prach z operátorov v čistej miestnosti sa môže v týchto oblastiach s prelomom ľahko dodržiavať.
4. Vplyv spiatočnej vzduchovej podlahy
Ak je odpor spiatočného vzduchu prechádzajúci podlahou odlišný, dôjde k rozdielu tlaku, čo spôsobuje prúdenie vzduchu v smere malého odporu a nezíska sa rovnomerný prietok vzduchu. Súčasnou populárnou metódou dizajnu je použitie vyvýšenej podlahy. Ak je úvodný pomer zvýšenej podlahy na 10%, rýchlosť prietoku vzduchu sa dá rovnomerne rozložiť vo výške vnútornej pracovnej výšky. Okrem toho by sa mala venovať prísna pozornosť čistiacim prácam, aby sa znížilo zdroj znečistenia na podlahe.
5. Indukčný jav
Takzvaný indukčný fenomén sa týka javu vytvárania prúdu vzduchu v opačnom smere ako rovnomerný tok, ktorý vyvoláva prach vytvorený v miestnosti alebo prachu v susedných kontaminovaných oblastiach na strane vetra, čím spôsobuje, že prach kontaminuje oblát. Možné indukované javy zahŕňajú nasledujúce:
(1) slepá doska
V čistej miestnosti s vertikálnym jednosmerným prietokom v dôsledku spojov na stene sú zvyčajne veľké slepé panely, ktoré budú produkovať turbulentný prietok a lokálny spätný tok.
(2) žiarovky
Osvetlenie v čistej miestnosti bude mať väčší vplyv. Pretože teplo fluorescenčnej lampy spôsobuje stúpanie prúdenia vzduchu, fluorescenčná lampa sa nestane turbulentnou oblasťou. Spravidla sú žiarovky v čistej miestnosti navrhnuté v tvare slzy, aby sa znížil vplyv žiaroviek na organizáciu prúdenia vzduchu.
(3) medzery medzi stenami
Ak sú medzery medzi priečkami alebo stropmi s rôznymi požiadavkami na čistotu, prach z oblastí s nízkou požiadavkami na čistotu sa môže preniesť do susedných oblastí s vysokou požiadavkami na čistotu.
(4) vzdialenosť medzi mechanickým zariadením a podlahou alebo stenou
Ak je priepasť medzi mechanickým zariadením a podlahou alebo stenou malá, dôjde k odrazovým turbulenciám. Preto nechajte medzeru medzi zariadením a stenou a zdvihnite platformu stroja, aby ste predišli priamym kontaktom so zemou.
Čas príspevku: november-02-2023