Elektronické čisté priestory reprezentované dielňami na výrobu čipov, dielňami na výrobu integrovaných obvodov a dielňami na výrobu diskov majú okrem prísnej kontroly častíc aj prísnejšie požiadavky na kontrolu teploty a vlhkosti, osvetlenie a mikrošoky. Dôsledne odstráňte vplyv statickej elektriny na výrobné produkty, aby životné prostredie mohlo spĺňať požiadavky výrobného procesu elektronických produktov v čistom prostredí.
Teplota a vlhkosť elektronickej čistej miestnosti by sa mala určiť podľa požiadaviek výrobného procesu. Ak neexistujú žiadne špecifické požiadavky na výrobný proces, teplota môže byť 20-26°C a relatívna vlhkosť je 30%-70%. Teplota čistej miestnosti pre personál a obývacej izby môže byť 16-28 ℃. Podľa čínskej národnej normy GB-50073, ktorá je v súlade s medzinárodnými normami ISO, je úroveň čistoty tohto typu čistej miestnosti 1-9. Medzi nimi, trieda 1-5, vzor prúdenia vzduchu je jednosmerný prúd alebo zmiešaný prúd; Typ prúdenia vzduchu triedy 6 je nejednosmerný prúd a výmena vzduchu je 50-60 krát/h; Typ prúdenia vzduchu triedy 7 je nejednosmerný prúd a výmena vzduchu je 15-25 krát/h; trieda 8-9 typ prúdenia vzduchu je nejednosmerný prúd, výmena vzduchu je 10-15 krát/h.
Podľa súčasných špecifikácií by hladina hluku v rámci triedy 10 000 elektronických čistých priestorov nemala byť väčšia ako 65 dB(A).
1. Úplný pomer čistej miestnosti s vertikálnym prietokom v elektronickej čistej miestnosti by nemal byť menší ako 60 % a čistý priestor s horizontálnym jednosmerným prietokom by nemal byť menší ako 40 %, inak pôjde o čiastočný jednosmerný prietok.
2. Rozdiel statického tlaku medzi elektronickou čistou miestnosťou a vonkajším prostredím by nemal byť menší ako 10 Pa a rozdiel statického tlaku medzi čistými priestormi a nečistými priestormi s rôznou čistotou vzduchu by nemal byť menší ako 5 Pa.
3. Množstvo čerstvého vzduchu v elektronickej čistej miestnosti triedy 10000 by malo mať hodnotu nasledujúcich dvoch položiek.
4. Kompenzujte súčet vnútorného objemu odpadového vzduchu a objemu čerstvého vzduchu potrebného na udržanie hodnoty pretlaku v interiéri.
5. Zabezpečte, aby množstvo čerstvého vzduchu dodávaného do čistej miestnosti na osobu za hodinu nebolo menšie ako 40 metrov štvorcových.
Čas odoslania: apríl-08-2024