Elektronické čisté priestory reprezentované dielňami na výrobu čipov, dielňami na výrobu integrovaných obvodov a dielňami na výrobu diskov majú okrem prísnej kontroly častíc aj prísnejšie požiadavky na kontrolu teploty a vlhkosti, osvetlenie a mikrošoky.Dôsledne odstráňte vplyv statickej elektriny na výrobné produkty, aby životné prostredie mohlo spĺňať požiadavky výrobného procesu elektronických produktov v čistom prostredí.
Teplota a vlhkosť elektronickej čistej miestnosti by sa mala určiť podľa požiadaviek výrobného procesu.Ak neexistujú žiadne špecifické požiadavky na výrobný proces, teplota môže byť 20-26°C a relatívna vlhkosť je 30%-70%.Teplota čistej miestnosti pre personál a obývacej izby môže byť 16-28 ℃.Podľa čínskej národnej normy GB-50073, ktorá je v súlade s medzinárodnými normami ISO, je úroveň čistoty tohto typu čistej miestnosti 1-9.Medzi nimi, trieda 1-5, vzor prúdenia vzduchu je jednosmerný prúd alebo zmiešaný prúd;Typ prúdenia vzduchu triedy 6 je nejednosmerný prúd a výmena vzduchu je 50-60 krát/h;Typ prúdenia vzduchu triedy 7 je nejednosmerný prúd a výmena vzduchu je 15-25 krát/h;trieda 8-9 typ prúdenia vzduchu je nejednosmerný prúd, výmena vzduchu je 10-15 krát/h.
Podľa súčasných špecifikácií by hladina hluku v rámci triedy 10 000 elektronických čistých priestorov nemala byť väčšia ako 65 dB(A).
1. Úplný pomer čistej miestnosti s vertikálnym prietokom v elektronickej čistej miestnosti by nemal byť menší ako 60 % a čistý priestor s horizontálnym jednosmerným prietokom by nemal byť menší ako 40 %, inak pôjde o čiastočný jednosmerný prietok.
2. Rozdiel statického tlaku medzi elektronickou čistou miestnosťou a vonkajším prostredím by nemal byť menší ako 10 Pa a rozdiel statického tlaku medzi čistými priestormi a nečistými priestormi s rôznou čistotou vzduchu by nemal byť menší ako 5 Pa.
3. Množstvo čerstvého vzduchu v elektronickej čistej miestnosti triedy 10000 by malo mať hodnotu nasledujúcich dvoch položiek.
4. Kompenzujte súčet vnútorného objemu odpadového vzduchu a objemu čerstvého vzduchu potrebného na udržanie hodnoty vnútorného pretlaku.
5. Zabezpečte, aby množstvo čerstvého vzduchu dodávaného do čistej miestnosti na osobu za hodinu nebolo menšie ako 40 metrov štvorcových.
Čas odoslania: apríl-08-2024