Protipožiarne zariadenia sú dôležitou súčasťou čistej miestnosti. Jeho význam nie je len preto, že jeho technologické vybavenie a stavebné projekty sú drahé, ale aj preto, že čisté priestory sú relatívne uzavreté budovy a niektoré sú dokonca dielňami bez okien. Priechody čistých priestorov sú úzke a kľukaté, čo sťažuje evakuáciu personálu a výučbu streľby. Aby bola zaistená bezpečnosť životov a majetku ľudí, mala by byť do návrhu implementovaná politika požiarnej ochrany „najprv prevencia, kombinácia prevencie a požiaru“. Okrem prijatia účinných protipožiarnych opatrení pri navrhovaní čistej miestnosti sa zriaďujú aj potrebné protipožiarne zariadenia. Výrobné charakteristiky čistých priestorov sú:
(1) Existuje mnoho presných zariadení a nástrojov a používa sa množstvo horľavých, výbušných, korozívnych a toxických plynov a kvapalín. Nebezpečenstvo požiaru niektorých výrobných častí patrí do kategórie C (ako je oxidačná difúzia, fotolitografia, iónová implantácia, tlač a balenie atď.) a niektoré patria do kategórie A (ako je ťahanie monokryštálov, epitaxia, chemická depozícia pár atď. .).
(2) Čistá miestnosť je vysoko vzduchotesná. Po vypuknutí požiaru bude ťažké evakuovať personál a uhasiť požiar.
(3) Náklady na výstavbu čistej miestnosti sú vysoké a vybavenie a nástroje sú drahé. Keď vypukne požiar, ekonomické straty budú obrovské.
Na základe vyššie uvedených charakteristík majú čisté priestory veľmi vysoké požiadavky na požiarnu ochranu. Okrem protipožiarneho systému a systému zásobovania vodou by mali byť nainštalované aj pevné hasiace zariadenia, obzvlášť cenné vybavenie a nástroje v čistých priestoroch je potrebné starostlivo určiť.
Čas odoslania: 11. apríla 2024