Protipožiarne zariadenia sú dôležitou súčasťou čistých priestorov. Ich význam nie je len kvôli drahým technologickým zariadeniam a stavebným projektom, ale aj preto, že čisté priestory sú relatívne uzavreté budovy a niektoré sú dokonca dielňami bez okien. Chodby v čistých priestoroch sú úzke a kľukaté, čo sťažuje evakuáciu personálu a poučenie o požiari. Aby sa zabezpečila bezpečnosť života a majetku ľudí, mala by sa pri návrhu implementovať politika protipožiarnej ochrany „najprv prevencia, kombinácia prevencie a požiaru“. Okrem prijatia účinných protipožiarnych opatrení pri návrhu čistých priestorov sa navyše zriadia aj potrebné protipožiarne zariadenia. Výrobné charakteristiky čistých priestorov sú:
(1) Existuje mnoho presných zariadení a prístrojov a používa sa množstvo horľavých, výbušných, korozívnych a toxických plynov a kvapalín. Niektoré výrobné diely patria do kategórie C z hľadiska nebezpečenstva požiaru (ako napríklad oxidačná difúzia, fotolitografia, iónová implantácia, tlač a balenie atď.) a niektoré patria do kategórie A (ako napríklad ťahanie monokryštálov, epitaxia, chemické nanášanie pár atď.).
(2) Čistá miestnosť je vysoko vzduchotesná. Po vypuknutí požiaru bude ťažké evakuovať personál a uhasiť požiar.
(3) Náklady na výstavbu čistých priestorov sú vysoké a vybavenie a nástroje sú drahé. Po vypuknutí požiaru budú ekonomické straty obrovské.
Na základe vyššie uvedených charakteristík majú čisté priestory veľmi vysoké požiadavky na protipožiarnu ochranu. Okrem protipožiarnej ochrany a systému zásobovania vodou by mali byť nainštalované aj stabilné hasiace zariadenia, pričom je potrebné starostlivo vybrať najmä cenné vybavenie a nástroje v čistých priestoroch.
Čas uverejnenia: 11. apríla 2024